Metrologie für Extra Grosse Ziele
EP4423456
Art A1
4. September 2024
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4423456
- Aktenzeichen
- EP23785174
- Anmeldetag
- 28. März 2023
- Veröffentlichung
- 4. September 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01B11/27G01N21/88G01N21/956H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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