Hochauflösungs-Elektronenmikroskop mit Niedriger Energie zur Bereitstellung von Topographieinformationen und Verfahren zur Maskeninspektion

EP4423791 Art A2 4. September 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4423791
Aktenzeichen: EP22809097
Anmeldetag: 25. Oktober 2022
Veröffentlichung: 4. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/244H01J37/28H01J37/29H01J37/147

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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