Verfahren zur Herstellung einer Elektrostatischen Objektklemme, Elektrostatische Objektklemme und Halbleiterverarbeitungsvorrichtung

EP4425259 Art A1 4. September 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4425259
Aktenzeichen: EP23159066
Anmeldetag: 28. Februar 2023
Veröffentlichung: 4. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00H01L21/683H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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