Stochastische Wafer mit Prüfung der Kantenplatzierungsgleichförmigkeit
EP4427031
Art A1
11. September 2024
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4427031
- Aktenzeichen
- EP23785190
- Anmeldetag
- 30. März 2023
- Veröffentlichung
- 11. September 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00// H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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