Stufenkopplung für Lithografische Vorrichtung

EP4427099 Art A1 11. September 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4427099
Aktenzeichen: EP22808840
Anmeldetag: 27. Oktober 2022
Veröffentlichung: 11. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20F16F1/00F16F15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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