Verfahren und System zur Bilderzeugung mittels Mehrfach-Elektronenstrahl
EP4427254
Art A1
11. September 2024
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4427254
- Aktenzeichen
- EP23816560
- Anmeldetag
- 17. Mai 2023
- Veröffentlichung
- 11. September 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/04H01J37/14H01J37/147H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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