Miniatur-Hybridelektronenstrahlsäule
EP4427256
Art A1
11. September 2024
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4427256
- Aktenzeichen
- EP23785165
- Anmeldetag
- 21. März 2023
- Veröffentlichung
- 11. September 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/141H01J37/06H01J37/244H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank