Rotierendes Target für Extrem-Ultraviolett-Quelle mit Flüssigmetall
EP4427550
Art A1
11. September 2024
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4427550
- Aktenzeichen
- EP23820275
- Anmeldetag
- 29. Mai 2023
- Veröffentlichung
- 11. September 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05G2/00G03F1/84
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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