Verfahren und System zur Erfassung von Halbleiterprozessformeln und Halbleiterprozessvorrichtung

EP4428780 Art A1 11. September 2024

Anmelder: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4428780
Aktenzeichen: EP22889195
Anmeldetag: 28. Oktober 2022
Veröffentlichung: 11. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G06Q10/06G06F30/27H01L21/67G06N3/084G05B13/02G05B19/418G06N3/045G06N3/048G06Q10/0631G06Q10/0633G06Q50/04H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Beijing NAURA Microelectronics Equipment

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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