Chemisch-Mechanisches Polierpolieren mit Pad-Ln-A-Flasche mit Kostengünstigen Nichtporösen Festen Polierkissen

EP4430134 Art A1 18. September 2024

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4430134
Aktenzeichen
EP22893782
Anmeldetag
8. November 2022
Veröffentlichung
18. September 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02C09K3/14H01L21/321H01L21/768H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Versum Materials US, LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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