Pad-In-Flasche und Chemisch-Mechanische Planarisierung mit einer Einzigen Platte für Backend-Anwendungen

EP4430655 Art A1 18. September 2024

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4430655
Aktenzeichen: EP22893766
Anmeldetag: 4. November 2022
Veröffentlichung: 18. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/321H01L21/768C09G1/02// H01L21/3105

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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