Beleuchtungsmodul für eine Metrologievorrichtung

EP4431988 Art A1 18. September 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4431988
Aktenzeichen: EP23161366
Anmeldetag: 13. März 2023
Veröffentlichung: 18. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/18G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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