Verfahren zur Beurteilung einer Halbleiterprobe, Vorrichtung zur Beurteilung einer Halbleiterprobe und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterwafers

EP4432334 Art A1 18. September 2024

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4432334
Aktenzeichen: EP22892424
Anmeldetag: 21. September 2022
Veröffentlichung: 18. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66G01R31/26G01N22/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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