Optisches System, Testvorrichtung, Lithographievorrichtung, Anordnung und Verfahren
EP4433876
Art A1
25. September 2024
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4433876
- Aktenzeichen
- EP22822536
- Anmeldetag
- 29. November 2022
- Veröffentlichung
- 25. September 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01R31/54
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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