Vorrichtung und Verfahren für eine Lithographische Vorrichtung

EP4437380 Art A1 2. Oktober 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4437380
Aktenzeichen: EP22809484
Anmeldetag: 3. November 2022
Veröffentlichung: 2. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62G03F7/20C01B32/158

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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