Ladungsteilchenstrahlvorrichtung zur Spannungskontrastprüfung und Verfahren dafür

EP4437577 Art A1 2. Oktober 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4437577
Aktenzeichen: EP22809132
Anmeldetag: 26. Oktober 2022
Veröffentlichung: 2. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/10

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von