Vorrichtung zur Kontaminationsverminderung in Ladungsträgerstrahlsystemen

EP4439623 Art A1 2. Oktober 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4439623
Aktenzeichen: EP23164356
Anmeldetag: 27. März 2023
Veröffentlichung: 2. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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