Direktaufnahmeroboter für Mehrstationen-Halbleiterverarbeitungskammern

EP4441779 Art A1 9. Oktober 2024

Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4441779
Aktenzeichen: EP22902408
Anmeldetag: 1. Dezember 2022
Veröffentlichung: 9. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677H01L21/687B25J9/04B25J9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Lam Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von