Schalldämpfer und Thermisches Konditionierungssystem für eine Lithographische Vorrichtung

EP4443237 Art A1 9. Oktober 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4443237
Aktenzeichen: EP23166309
Anmeldetag: 3. April 2023
Veröffentlichung: 9. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00F01N1/00F01N1/02F16L55/033

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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