Steuerungsvorrichtung, Substratverarbeitungsvorrichtung, Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements und Programm

EP4443256 Art A1 9. Oktober 2024

Anmelder: Kokusai Electric Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4443256
Aktenzeichen: EP24165557
Anmeldetag: 22. März 2024
Veröffentlichung: 9. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/418H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corp.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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