Verfahren zur Bildung eines Abscheidungsfilms

EP4443478 Art A1 9. Oktober 2024

Anmelder: Resonac Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4443478
Aktenzeichen: EP22900910
Anmeldetag: 7. Oktober 2022
Veröffentlichung: 9. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/311H01L21/033H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Resonac Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

794 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von