Verfahren zur Bestimmung einer Mechanischen Eigenschaft einer auf einem Substrat Aufgetragenen Schicht und Zugehörige Vorrichtungen

EP4445218 Art A1 16. Oktober 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4445218
Aktenzeichen: EP22808826
Anmeldetag: 27. Oktober 2022
Veröffentlichung: 16. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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