Systeme und Verfahren zur Reduzierung der Musterverschiebung in einer Lithografievorrichtung

EP4445219 Art A1 16. Oktober 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4445219
Aktenzeichen: EP22813621
Anmeldetag: 9. November 2022
Veröffentlichung: 16. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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