Verfahren zur Herstellung einer Dreidimensionalen Biegestruktur

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4446102

Aktenzeichen

EP24169535

Anmeldetag

10. April 2024

Veröffentlichung

3. Dezember 2025

Erteilung

3. Dezember 2025

Rechtsraum

EP

IPC

B29D11/00B81C1/00G02B3/00

Abstract

L'invention concerne un procédé de fabrication d'une structure tridimensionnelle comprenant la fourniture d'un empilement (1) comprenant, empilés selon une direction dite verticale (Z), un substrat support (400), une couche sacrificielle (300), une couche d'intérêt (200) présentant un flanc (203) et une couche tenseur (100) présentant un flanc (103), la couche tenseur présentant une contrainte résiduelle σ₁₀₀. Le procédé comprend également le retrait d'une portion de retrait (350) de la couche sacrificielle, tout en conservant une portion restante (360) de la couche sacrificielle sous-jacente à la couche d'intérêt. La portion de retrait est située au droit d'une portion latérale (250) de la couche d'intérêt s'étendant depuis l'intégralité du flanc de la couche d'intérêt. La contrainte résiduelle σ₁₀₀ de la couche tenseur est configurée pour provoquer une flexion de la couche d'intérêt lors de l'étape de retrait de la portion de retrait.

Anmelder

Firmen

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete