Verfahren zur Analyse von Nitrosylfluorid Enthaltendem Gas und Verfahren zur Entfernung von Nitrosylfluorid in Gas

EP4446733 Art A1 16. Oktober 2024

Anmelder: Resonac Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4446733
Aktenzeichen: EP22903907
Anmeldetag: 27. Oktober 2022
Veröffentlichung: 16. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01N30/14B01J20/02B01J20/20G01N21/35G01N30/00G01N30/88

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Resonac Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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