Substratverarbeitungsvorrichtung und Substratverarbeitungsverfahren

EP4447096 Art A1 16. Oktober 2024

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4447096
Aktenzeichen: EP24161318
Anmeldetag: 5. März 2024
Veröffentlichung: 16. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67B05C5/02B05C11/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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