Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen mindestens einer Hohlstruktur, Spiegel, Euv-Lithographiesystem, Fluidzuführungsvorrichtung und Verfahren zum Zuführen eines Fluids
EP4448213
Art B1
15. Oktober 2025
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4448213
- Aktenzeichen
- EP22835015
- Anmeldetag
- 13. Dezember 2022
- Veröffentlichung
- 15. Oktober 2025
- Erteilung
- 15. Oktober 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B23K26/55G02B7/195
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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