Temperatursteuerungssystem, Vakuumsystem und Verfahren zur Einstellung der Temperatur einer Vakuumkammer eines Vakuumsystems

EP4448828 Art A1 23. Oktober 2024

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4448828
Aktenzeichen: EP22701238
Anmeldetag: 20. Januar 2022
Veröffentlichung: 23. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/54C23C16/46F28D1/06

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Anmelder

Firma: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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