Verfahren zur Erzeugung einer Musterkarte, Computerprogrammprodukt

EP4449483 Art A1 23. Oktober 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4449483
Aktenzeichen: EP22818066
Anmeldetag: 18. November 2022
Veröffentlichung: 23. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66G03F1/86G03F7/20G06T7/00H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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