Verfahren und System zur Erzeugung von Lithographiemustern
EP4453651
Art B1
18. Februar 2026
Anmelder: Vestlandets Innovasjonsselskap AS 🇳🇴
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4453651
- Aktenzeichen
- EP23714120
- Anmeldetag
- 8. März 2023
- Veröffentlichung
- 18. Februar 2026
- Erteilung
- 18. Februar 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00G03F1/26G03F1/50G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Vestlandets Innovasjonsselskap AS
- Land
- 🇳🇴 Norwegen