System und Verfahren zur Spektrometrie einer Probe in einem Plasma

EP4453988 Art A1 30. Oktober 2024

Anmelder: FEI Company, Thermo Fisher Scientific (Bremen) GmbH, Thermo Fisher Scientific (Ecublens) Sarl 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4453988
Aktenzeichen
EP21847842
Anmeldetag
21. Dezember 2021
Veröffentlichung
30. Oktober 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01J27/16H01J49/00H01J49/10G01N21/64G01N21/73H05H1/24H05H1/46
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
FEI Company
Thermo Fisher Scientific (Bremen) GmbH
Thermo Fisher Scientific (Ecublens) Sarl
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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