Rohrleitungstemperatursteuerungsvorrichtung und Rohrleitungstemperatursteuerungsverfahren

EP4455826 Art A1 30. Oktober 2024

Anmelder: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4455826
Aktenzeichen: EP22909915
Anmeldetag: 19. Dezember 2022
Veröffentlichung: 30. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G05D23/19G05D23/22H01L21/67F16L53/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Beijing NAURA Microelectronics Equipment

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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