Welligkeitsvorhersagevorrichtung, Welligkeitsvorhersageverfahren, Verarbeitungsverfahren zum Polieren eines Zielartikels und Programm

EP4458512 Art A1 6. November 2024

Anmelder: Resonac Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4458512
Aktenzeichen: EP22915825
Anmeldetag: 20. Dezember 2022
Veröffentlichung: 6. November 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G05B13/02B24B37/005B24B49/04G06N3/08B24B1/00G06N20/00B24B37/013B24B49/16B24B49/02B24B37/08B24B37/12B24B37/34B24B49/03H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Resonac Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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