Aufgabenplanungsverfahren und Halbleiterprozessvorrichtung

EP4459524 Art A1 6. November 2024

Anmelder: Xi'An Naura Microelectronics Equipment Co., Ltd., Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4459524
Aktenzeichen
EP22913942
Anmeldetag
25. November 2022
Veröffentlichung
6. November 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G06Q10/06G06Q50/04H01L21/67G06Q10/0631
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Xi'An Naura Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Beijing NAURA Microelectronics Equipment

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

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