Verfahren zur Steuerung der Planung einer Halbleiterprozessvorrichtung und Halbleiterprozessvorrichtung

EP4459668 Art A1 6. November 2024

Anmelder: Xi'An Naura Microelectronics Equipment Co., Ltd., Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4459668
Aktenzeichen: EP22914474
Anmeldetag: 22. Dezember 2022
Veröffentlichung: 6. November 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Xi'An Naura Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Beijing NAURA Microelectronics Equipment Co., Ltd.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Beijing NAURA Microelectronics Equipment

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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