Laserstrahlverstärkungssystem

EP4460876 Art A1 13. November 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4460876
Aktenzeichen: EP22838861
Anmeldetag: 21. Dezember 2022
Veröffentlichung: 13. November 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/00G03F7/20H01S5/00H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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