Verwaltungssystem für Substratverarbeitungsvorrichtung, Verwaltungsverfahren für Substratverarbeitungsvorrichtung und Verwaltungsprogramm für Substratverarbeitungsvorrichtung

EP4465338 Art A1 20. November 2024

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4465338
Aktenzeichen: EP22920426
Anmeldetag: 28. Oktober 2022
Veröffentlichung: 20. November 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02G05B19/418G05B23/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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