Verfahren zur Steuerung eines Produktionssystems und Verfahren zur Thermischen Steuerung Zumindest eines Teils einer Umgebung

EP4466636 Art A1 27. November 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4466636
Aktenzeichen: EP22835062
Anmeldetag: 15. Dezember 2022
Veröffentlichung: 27. November 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G06N3/045G06N3/0464G06N3/092G06N3/044G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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