Verfahren zur Überwachung einer Plasmaentladung

EP4466954 Art B1 4. März 2026

Anmelder: UCL Business Ltd 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4466954
Aktenzeichen: EP23701286
Anmeldetag: 17. Januar 2023
Veröffentlichung: 4. März 2026
Erteilung: 4. März 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/00H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: UCL Business Ltd
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 UCL Business

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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