Scrollvakuumpumpe und Verfahren zum Herstellen einer Scrollvakuumpumpe

EP4467810 Art A3 26. Februar 2025

Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4467810
Aktenzeichen
EP24188690
Anmeldetag
15. Juli 2024
Veröffentlichung
26. Februar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
F04C18/02F04C25/02
Offizieller Volltext

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpsystem, das ein feststehendes Spiralbauteil und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil umfasst, einer im Betrieb um eine Drehachse rotierenden Antriebswelle mit einem Exzenterabschnitt zum Antreiben des beweglichen Spiralbauteils, und einem elektrischen Antriebsmotor für die Antriebswelle, wobei das bewegliche Spiralbauteil eine Spiralanordnung mit Spiralwänden, von diesen begrenzten Spiralnuten und deren Boden bildendem Spiralgrund sowie einen mit dem Exzenterabschnitt der Antriebswelle zusammenwirkenden Träger für die Spiralanordnung umfasst, wobei das feststehende Spiralbauteil eine Spiralanordnung mit Spiralwänden und Spiralgrund sowie einen Träger für die Spiralanordnung umfasst. Dabei weist gemäß einem ersten Aspekt zumindest eine Spiralwand an einem freien Endabschnitt eine reduzierte Dicke auf, die kleiner ist als die Dicke eines dem freien Endabschnitt vorgelagerten, in den freien Endabschnitt übergehenden Abschnitts der Spiralwand. Gemäß einem zweiten Aspekt weist zumindest eine Spiralwand einen freien Endabschnitt auf, der an seiner radialen Außenseite und/oder an seiner radialen Innenseite relativ zu einem dem freien Endabschnitt vorgelagerten, in den freien Endabschnitt übergehenden Abschnitt der Spiralwand einen Rücksprung aufweist.

Anmelder

Firma
Pfeiffer Vacuum Technology AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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