Scrollvakuumpumpe und Verfahren zum Herstellen einer Scrollvakuumpumpe
Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4467810
- Aktenzeichen
- EP24188690
- Anmeldetag
- 15. Juli 2024
- Veröffentlichung
- 26. Februar 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04C18/02F04C25/02
Abstract
Die Erfindung betrifft eine Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpsystem, das ein feststehendes Spiralbauteil und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil umfasst, einer im Betrieb um eine Drehachse rotierenden Antriebswelle mit einem Exzenterabschnitt zum Antreiben des beweglichen Spiralbauteils, und einem elektrischen Antriebsmotor für die Antriebswelle, wobei das bewegliche Spiralbauteil eine Spiralanordnung mit Spiralwänden, von diesen begrenzten Spiralnuten und deren Boden bildendem Spiralgrund sowie einen mit dem Exzenterabschnitt der Antriebswelle zusammenwirkenden Träger für die Spiralanordnung umfasst, wobei das feststehende Spiralbauteil eine Spiralanordnung mit Spiralwänden und Spiralgrund sowie einen Träger für die Spiralanordnung umfasst. Dabei weist gemäß einem ersten Aspekt zumindest eine Spiralwand an einem freien Endabschnitt eine reduzierte Dicke auf, die kleiner ist als die Dicke eines dem freien Endabschnitt vorgelagerten, in den freien Endabschnitt übergehenden Abschnitts der Spiralwand. Gemäß einem zweiten Aspekt weist zumindest eine Spiralwand einen freien Endabschnitt auf, der an seiner radialen Außenseite und/oder an seiner radialen Innenseite relativ zu einem dem freien Endabschnitt vorgelagerten, in den freien Endabschnitt übergehenden Abschnitt der Spiralwand einen Rücksprung aufweist.
Anmelder
- Firma
- Pfeiffer Vacuum Technology AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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