Verfahren und Vorrichtung zum Analysieren eines Bildes einer Mikrostrukturierten Probe für die Mikrolithographie

EP4468251 Art A1 27. November 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4468251
Aktenzeichen: EP24176552
Anmeldetag: 17. Mai 2024
Veröffentlichung: 27. November 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G06V10/44G06V20/69

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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