Beleuchtungsmodul für eine Metrologievorrichtung

EP4471500 Art A1 4. Dezember 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4471500
Aktenzeichen: EP23176589
Anmeldetag: 1. Juni 2023
Veröffentlichung: 4. Dezember 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G03F9/00G02B5/18G02B26/08G02B27/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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