Anordnung für einen Lithographischen Apparat

EP4473359 Art A1 11. Dezember 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4473359
Aktenzeichen: EP23701775
Anmeldetag: 26. Januar 2023
Veröffentlichung: 11. Dezember 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von