Techniken zur Erkennung von Sondenlandung in Testsystemen für Integrierte Schaltungen

EP4478066 Art A1 18. Dezember 2024

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4478066
Aktenzeichen: EP24180265
Anmeldetag: 5. Juni 2024
Veröffentlichung: 18. Dezember 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/28H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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