Verfahren zur Zufuhr von Behandlungsflüssigkeit und Substratverarbeitungsvorrichtung

EP4478399 Art A1 18. Dezember 2024

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4478399
Aktenzeichen: EP22926061
Anmeldetag: 21. November 2022
Veröffentlichung: 18. Dezember 2024
Rechtsraum: EP
IPC: B05C11/10H01L21/67F16K23/00// B05B12/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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