Vorrichtungen, Testkarten und Verfahren zum Testen von Photonischen Integrierten Schaltungen und Photonische Integrierte Schaltungen
EP4479755
Art A1
25. Dezember 2024
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4479755
- Aktenzeichen
- EP23704730
- Anmeldetag
- 8. Februar 2023
- Veröffentlichung
- 25. Dezember 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01R1/073
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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