Verfahren zur Überwachung der Schwächung einer Grenzfläche zwischen einem Substrat und einer Schicht und Vorrichtung zur Ermöglichung Solch einer Überwachung

EP4479999 Art A1 25. Dezember 2024

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, SOITEC 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4479999
Aktenzeichen: EP23713702
Anmeldetag: 14. Februar 2023
Veröffentlichung: 25. Dezember 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66H01L21/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
SOITEC
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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