Verfahren zur Vorhersage einer Reaktion eines Elektromagnetischen Systems auf die Beleuchtung Elektromagnetischer Strahlung

EP4481492 Art A1 25. Dezember 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4481492
Aktenzeichen: EP23180758
Anmeldetag: 21. Juni 2023
Veröffentlichung: 25. Dezember 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von