Heterogene Integration von Komponenten auf Kompakten Vorrichtungen unter Verwendung von Moiré-Basierter Metrologie und Vakuumbasierter Aufnahme und Platzierung

EP4481811 Art A3 26. Februar 2025

Anmelder: Board Of Regents, The University Of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4481811
Aktenzeichen: EP24210842
Anmeldetag: 22. Dezember 2017
Veröffentlichung: 26. Februar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B81C99/00H01L21/67H01L21/683H01L23/544// H01L25/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Board Of Regents, The University Of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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