Substratverarbeitungsvorrichtungsverwaltungssystem, Hilfsvorrichtung, Substratverarbeitungsvorrichtung, Verfahren zum Vergleich der Leistung zwischen Kammern und Programm zum Vergleich der Leistung zwischen Kammern

EP4485503 Art A1 1. Januar 2025

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4485503
Aktenzeichen: EP23759857
Anmeldetag: 16. Februar 2023
Veröffentlichung: 1. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/418G05B23/02H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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